真空爐中釬焊設(shè)備主要由真空釬焊爐和真空系統(tǒng)兩部分組成。真空釬焊爐大致有兩種類型，熱壁爐和冷壁爐。兩種類型的爐子可用燃氣加熱或電加熱，可設(shè)計成側(cè)裝爐、底裝爐或頂裝爐（坑式）結(jié)構(gòu)。真空系統(tǒng)可以通用。

真空系統(tǒng)主要包括真空機組、真空管道、真空閥門等。真空機組通常由旋片式機械泵和有擴散泵組成。單用機械泵只能得到地域1.35×10^-1Pa級的真空度。要獲得高真空必須同時使用油擴散泵，此時能達到1.35×10^-4Pa級的真空度。系統(tǒng)內(nèi)的氣體壓力用真空計測量。